壓阻式壓力傳感器構造
壓阻式壓力傳感器選用集成化加工工藝將電阻條集成化在光伏電池膜片上,做成硅壓阻集成ic,并將此集成ic的附近固定不動封裝于機殼以內,引出來電級導線。壓阻式壓力傳感器又稱之為固體壓力傳感器,液壓多路閥有別于黏貼式應變計需根據延展性光敏電阻器間接性體會外力作用,只是立即根據硅膜片體會被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連接的髙壓腔,另一面是與空氣連接的底壓腔。硅膜片一般設計方案成附近固支的環形,直徑與薄厚比約為20~60。在環形硅膜片(N型)定域蔓延4條P殘渣電阻條,并接滿足橋,在其中兩根坐落于壓地應力區,另兩根處在拉應力區,相對性于膜片軸對稱。高壓閥硅柱狀光敏電阻器也是在硅面層某一晶向的一定方位上蔓延制做電阻條,兩根受拉應力的電阻條與另兩根受力地應力的電阻條組成全橋。